行业资讯

产品介绍

高温（800℃）四探针台是一款集高温变温控制、真空环境与气氛保护于一体的多功能电学测试平台。既可作为独立探针测试系统高效完成基础电学测试，也可灵活搭配显微镜、光谱仪等光学设备，实现原位光电协同测试，广泛应用于半导体材料、薄膜器件、微纳电子器件等领域，完成高温、真空及可控气氛条件下的各类电学性能表征。

产品参数

· 温度范围：常温-800℃：

· 控温方式：PID精确控温，可编程温控，支持变温速率设定与程序控温曲线；

· 温度稳定性：±0.1℃；

· 真空腔体：密封腔体设计，支持抽真空及充入保护气体；

· 探针材质：铼钨/镀金钨针；

· 探针移动平台（XYZ行程）：移动行程和移动精度均可定制；

· 探针接口：BNC/SMA接头，可选三同轴接口（支持pA级弱电流测试）；

· 样品台尺寸32mm×32mm（可定制）。

产品优势

1、宽温域高精度控温

设备覆盖从常温至800℃高温的宽温度区间。采用PID精确控温算法，温度稳定性可达±0.1℃，温度显示分辨率最高0.1℃，确保测试数据的精确性与可重复性。

2、真空腔室与气氛控制

设备上盖与底壳构成可抽真空的密封腔体，可有效排除空气中的氧气和水分，避免样品在高温下氧化。同时支持充入氮气、氩气等保护气体，也可通入特定气氛进行气敏性测试。

真空系统可选配机械泵或涡轮分子泵，腔体配备标准法兰接口，兼容各类真空附件。

3、精密手动探针调节

采用手动点针方式，四探针独立调节，X/Y/Z三轴精密位移平台提供X/Y轴各12mm行程（±6mm）的移动行程，可精确定位至样品表面任意待测点。

探针材质采用镀金钨针/铼钨合金，探针尖端直径最小可达10μm，兼顾导电性能与点针精度。

应用领域

1、半导体材料研究

可完成硅、锗单晶的电阻率与方块电阻测量，以及外延层、扩散层、离子注入层的电学性能表征，助力半导体材料研发与性能优化。

RSC Adv., 2025,15, 46402-46412

2、薄膜材料测试

适用于导电玻璃（ITO）、金属薄膜、导电陶瓷等各类薄膜材料的方块电阻与电阻率测量，为薄膜材料性能评估提供可靠手段。

Sci. Rep. 14, 22029 (2024)

3、微纳电子器件

可开展传感器、探测器、晶体管等微纳器件的变温电学特性分析，支撑微纳电子器件的研发、测试与性能优化。

ACS Appl. Electron. Mater. 2025, 7, 2, 806–815

4、光电材料研究

搭配光学设备可实现LED、OLED、LD/PD等光电器件的原位光电协同测试，助力光电材料与器件的科研攻关。

Nature Communications 15, 7648 (2024)

5、新能源材料

可完成锂电池材料、高温燃料电池、超导材料、热电材料等的变温电学性能研究，为新能源材料的研发与应用提供技术支撑。

Nano Lett. 2020, 20, 11, 8081–8088

6、气敏材料研究

可在特定气氛条件下测试材料的气敏响应特性，适配气敏材料的性能评估与研发需求。

Environmental Science: Atmospheres10，2025,  1119-1143